運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，在微納米結構檢測中有著重要意義。
中圖儀器基于3D光學成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優點，以光學測量技術創新為發展基礎，研發出了常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器等，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。
1、自動聚焦法-影像測量儀
自動聚焦法是基于幾何光學的物象共軛關系，能使得場景目標在成像系統中準確清晰成像的某種自動調節過程，當照明光斑匯聚在被測面時，進一步調整檢測頭與表面的距離，直至光斑像尺寸最小而得到該被測位置的相對高度。
?支持點激光輪廓掃描測量，進行高度方向上的輪廓測量；
?支持線激光3D掃描成像，可實現3D掃描成像和空間測量；
?支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，提升測量效率；
?具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應更多復雜工件表面。
2、共焦激光掃描顯微法-共聚焦顯微鏡
激光共焦掃描顯微術是一項高分辨率三維光學成像技術。利用精密共焦空間濾波結構，通過物象共軛關系濾除焦點外的反射光，提高成像的可見度。共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔，其中一個放在光源前面，另一個放在探測器前面。得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數碼相機聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。
VT6000共聚焦顯微鏡具有粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能?；诩す夤簿劢癸@微測量技術，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；對大坡度的產品有更好的成像效果，能在滿足精度的情況下使使用場景更具兼容性。在材料生產領域中提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
3、光學顯微干涉法-白光干涉儀
干涉顯微法是光學干涉法與顯微系統相結合的產物，通過在干涉儀上增加顯微放大視覺系統，提高了干涉圖的橫向分辨率，使之能夠完成微納結構的三維表面形貌測量。
SuperViewW1白光干涉儀是一個光學干涉顯微測量系統，基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型。主要用于對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
直接測量透明的樣件表面：
高精度儀器設備需求不斷推動著微納米技術向前發展，因此高精度的微納檢測技術也成為了必然需求。根據不同測量要求，每種高精度測量儀器都有其適用性，在選設備的時候要根據具體需求來選擇。